檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Chen-chia Chou".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="CO2雷射退火"
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本研究利用CO2低溫雷射退火製程,將鋯鈦酸鉛(PZT)鐵電薄膜與錳酸鍶鑭(LSMO)氧化物電極鍍製於316型不鏽鋼線與薄板基板上,以改善傳統爐內退火常導致線狀或薄板型鐵電元件產生界面擴散與氧化等問題…
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本文採用430型不銹鋼(SUS430)取替Pt電極與矽晶片基板,搭配CO2低溫雷射退火製程,以改善傳統爐管之退火中導致元件產生介面擴散與氧化等問題,使得PZT鐵電薄膜與LSMO氧化物電極能成功鍍製於…